マグネトロンスパッタリングアセンブリ
部品
磁石
磁石は、マグネトロンスパッタリングアセンブリの重要な部分です。その磁気回路の配置とその磁場の均一性は、最終的なスパッタリング結果に直接影響します。動作中に電子ビームの放電によって発生する熱により、磁石には適切な熱抵抗も必要です。
機械加工部品
マグネトロンスパッタリングアセンブリの典型的な機械加工部品には、ベース、ポールシューズ、保護ケーシング、コネクタなどがあります。これらは、低炭素鋼、ステンレス鋼、銅、アルミニウム、ナイロンなどの材料から製造されています。水冷条件下では、鉄成分が保護のために電気めっきを必要とします。
シールリング
シールリングは、コンポーネントチャンバーの完全性を確保し、ガスと水の漏れを防ぐ上で重要な役割を果たします。通常、長期的で安定したパフォーマンスを約束する、輸入された高品質の工業シールを使用します。
ファスナー
これらのファスナーには、さまざまなネジ、ナット、ポジショニングピン、ワッシャー、保持リングなどが含まれます。アセンブリの要件に応じて、これらのいくつかは表面硬化処理を受ける可能性があります。
アセンブリと検査
標準的な動作手順に続いて、個々の部品はまとまりのある全体に組み立てられます。アセンブリ後、運用要件に従って、目視検査、表面磁場テスト、ヘリウム漏れ試験、油圧圧力検査、断熱チェックなど、複数のテストが実施されます。
特徴
•高効率：最先端の磁気材料制御技術を活用すると、当社の磁気アセンブリは、作業磁場の均一性を高めます。これは、スパッタリングプロセスを合理化するだけでなく、コーティングの準備効率とターゲット材料の利用を強化します。
•優れた品質：プレミアム材料と高度な製造技術を使用するという当社のコミットメントにより、トップレベルの製品品質とパフォーマンスが保証されます。
•信頼性：安定性と信頼性のために設計されたアセンブリは、一貫した長期的なパフォーマンスを約束し、コーティングの品質と準備効率を保証します。
•柔軟性：カスタマイズされた製品を提供するのに適しています。カスタムデザインと、さまざまなコーティングの準備ニーズに合わせて調整された製造が可能です。
•専門知識：当社の専門家チームは、豊富な経験と技術的能力を誇っており、クライアントに全体的な技術サポートとサービスを提供しています。
マグネトロンスパッタリングアセンブリは、オプトエレクトロニクス、半導体、表面処理などのアプリケーションを見つけます。私たちは、ハイエンドのコーティングの準備と研究のニーズに応え、業界の信頼できるパートナーとしての評判を固めます。
