半導体機器の高精度磁石
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半導体機器の高精度磁石
高度な統合回路製造装置の洗練されたアセンブリの重要なコンポーネントである最先端のデュアルステージExtreme Ultraviolet（EUV）Lithographyプラットフォームの高精度磁石を導入できることを誇りに思います。この機器の精度は、半導体チップの統合と性能を定義するのに役立ちます。システムの中心は、機能性と精度の基礎として機能する、超高速、大型、2次元の平面磁気浮揚段階です。
この最先端のアプリケーションは、従来の製造基準よりも多くを要求し、これらのプラットフォームで使用される磁石に厳しい要件を設定します。超高寸法精度、優れた磁性性能、腐食耐性コーティング、完璧な外観などの仕様は交渉不可能であり、精密機械加工、製造、および磁石の検査を非常に挑戦的な取り組みにします。
半導体アプリケーションにおける精密磁石の専門的な要件を深く理解することで、これらのコンポーネントを顕著な安定性でボリュームで配信する能力が発生しました。このハイテク分野でのお客様の正確なニーズを満たすために、コンサルティングデザイン、迅速なプロトタイピング、フルスケール制作などの包括的なカスタマイズサービスを提供しています。