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マグネトロンスパッタリングの幅広い使用
マグネトロンスパッタリングは非常に一般的な真空コーティング装置であり、薄膜を備えたデバイスの性能を向上させる必要のあるさまざまなアプリケーションで広く使用できます。光学フィールドを例にとると、反射防止(AR)、赤外線フィルター(IRカット)、紫外線フィルター(UVカット)などの光学素子は、スパッタリング技術によって作成できます。
光学分野に加えて、機械加工や半導体の分野でのスパッタリング技術の応用も、加工工具やドリルビットの硬化膜の保護、自己潤滑など、かなりの数のケースです。金型の寿命を延ばすためのフィルム、裸の結晶試験のためのプローブカードカンチレバー針の保護など。
マグネトロンスパッタリングで一般的に使用される永久磁石材料
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マグネトロンスパッタリングは、さまざまな外観と形状の永久磁性材料を使用しており、永久磁性材料の性能の一貫性と製品の挙動耐性に高い要件があります。永久磁石材料の一般的なタイプはNdFeBであり、全体的な需要は顧客の需要に依存します。