Magnetron-Sputter-Baugruppen

Wir sind darauf spezialisiert, unseren Kunden maßgeschneiderte Lösungen in Form einer vielfältigen Palette von Magnetron-Sputtering-Komponenten anzubieten, darunter Planartargets, Rotationstargets und Scheibentargets.Diese Komponenten sind mit verschiedenen PVD-Sputtertargetmaterialien und -geometrien kompatibel.Unsere hochmodernen Präzisionsbearbeitungskapazitäten ermöglichen es uns, ergänzende Teile aus einer breiten Palette von Materialien herzustellen, gefolgt von einer umfassenden Montage und Reinigung.Um sicherzustellen, dass unsere Produkte den höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards entsprechen, führen wir strenge Tests durch, einschließlich Bewertungen des Hydraulikdrucks, der Isolierung und der Gasdichtheit.

 

Wir gehen auf die spezifischen Anforderungen unserer Kunden an Magnetron-Sputterkomponenten ein.Unsere Dienstleistungen umfassen den gesamten Prozess, von der Beratung über Design und Prototyping bis hin zur Massenproduktion, und bieten eine kundenspezifische Fertigung im gesamten Zyklus.


Produktdetail

Produkt Tags

Teile

Semi-PVD-Baugruppe 05

Magnete

Die Magnete sind wesentliche Bestandteile der Magnetron-Sputter-Baugruppen.Die Anordnung seiner Magnetkreise und die Gleichmäßigkeit seines Magnetfelds wirken sich direkt auf das endgültige Sputterergebnis aus.Aufgrund der im Betrieb durch die Entladung des Elektronenstrahls entstehenden Wärme müssen die Magnete zudem über einen ausreichenden thermischen Widerstand verfügen.

Semi-PVD-Baugruppe 06

Bearbeitete Teile

Zu den typischen bearbeiteten Teilen der Magnetron-Sputter-Baugruppen gehören die Basis, Polschuhe, Schutzgehäuse, Anschlüsse und mehr.Diese werden aus Materialien wie kohlenstoffarmem Stahl, Edelstahl, Kupfer, Aluminium und Nylon hergestellt.Unter wassergekühlten Bedingungen müssen Eisenkomponenten zum Schutz galvanisiert werden.

Semi-PVD-Baugruppe 07

Siegelringe

Dichtungsringe spielen eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität der Komponentenkammer und verhindern das Austreten von Gas und Wasser.Wir verwenden in der Regel importierte, hochwertige Industriedichtungen, die eine langfristig stabile Leistung versprechen.

Semi-PVD-Baugruppe 08

Befestigungselemente

Zu diesen Befestigungselementen gehören verschiedene Schrauben, Muttern, Positionierungsstifte, Unterlegscheiben, Sicherungsringe usw. Je nach Montageanforderungen können einige davon einer Oberflächenhärtung unterzogen werden.

Montage und Inspektion

Nach Standardarbeitsanweisungen werden einzelne Teile zu einem zusammenhängenden Ganzen zusammengefügt.Nach der Montage werden entsprechend den betrieblichen Anforderungen mehrere Tests durchgeführt, darunter Sichtprüfungen, Oberflächenmagnetfeldtests, Helium-Lecktests, Hydraulikdrucktests und Isolationsprüfungen.

Semi-PVD-Baugruppe 04
Semi-PVD-Baugruppe 01
Semi-PVD-Baugruppe 02

Merkmale

Hohe Effizienz: Unsere Magnetbaugruppen nutzen modernste Technologie zur Steuerung magnetischer Materialien und verbessern die Gleichmäßigkeit des Arbeitsmagnetfelds.Dies rationalisiert nicht nur den Sputterprozess, sondern verbessert auch die Effizienz der Beschichtungsvorbereitung und die Ausnutzung des Targetmaterials.
• Überlegene Qualität: Unser Engagement für die Verwendung erstklassiger Materialien und fortschrittlicher Fertigungstechniken gewährleistet Produktqualität und Leistung auf höchstem Niveau.
• Zuverlässigkeit: Unsere auf Stabilität und Zuverlässigkeit ausgelegten Baugruppen versprechen eine gleichbleibende, langfristige Leistung und garantieren Beschichtungsqualität und Vorbereitungseffizienz.
• Flexibilität: Wir sind bestens gerüstet, um maßgeschneiderte Produkte anzubieten, die kundenspezifische Designs und Fertigungen ermöglichen, die auf unterschiedliche Anforderungen an die Beschichtungsvorbereitung zugeschnitten sind.
• Fachwissen: Unser Spezialistenteam verfügt über umfangreiche Erfahrung und technische Kompetenz und bietet unseren Kunden ganzheitliche technische Unterstützung und Service.

Unsere Magnetron-Sputter-Baugruppen finden Anwendung in der Optoelektronik, Halbleitertechnik, Oberflächenbehandlung und mehr.Wir kümmern uns um anspruchsvolle Beschichtungsvorbereitungs- und Forschungsanforderungen und festigen unseren Ruf als vertrauenswürdiger Partner in der Branche.


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